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集成電路凈化室是指將特殊生產(chǎn)車間內(nèi)的空氣中的塵埃微粒子、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有毒氣體、碎屑等污染物通過空氣循環(huán)過濾及部分空氣排出，到達(dá)無(wú)塵室內(nèi)空氣潔凈的房間，在除塵的同時(shí)，通過凈化空調(diào)系統(tǒng)將潔凈室內(nèi)的空氣溫度、濕度、壓力與氣流流動(dòng)方向控制在適合生產(chǎn)光學(xué)鏡片或微電子的方位內(nèi)，通過防靜電及排靜電的特殊措施，將凈化室內(nèi)對(duì)敏感電子原器件有破壞性的靜電去除，凈化無(wú)塵室是在以上各項(xiàng)措施得到有效控制而設(shè)計(jì)和建設(shè)的密閉環(huán)境。
凈化工程師或空氣凈化工程供應(yīng)商在此類工程的設(shè)計(jì)施工過程中，必須要加強(qiáng)對(duì)光學(xué)電子行業(yè)產(chǎn)品特性的充分了解和熟悉，需要更多的與電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品開發(fā)部相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行溝通，根據(jù)該項(xiàng)目是新建車間或是舊車間技術(shù)升級(jí)改造，并結(jié)合光學(xué)電子生產(chǎn)企業(yè)具體的生產(chǎn)流程和工藝等要求來(lái)確定其需要的工藝平面方案、溫度、濕度、潔凈度等，還要考慮生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)能規(guī)劃及建設(shè)經(jīng)濟(jì)計(jì)劃安排，綜合各方面因素后再確定使用什么樣的空氣凈化處理方案，只有達(dá)到各方面的平衡，才能建設(shè)出一個(gè)滿足生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)、運(yùn)營(yíng)要求的凈化無(wú)塵凈化車間。
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