無(wú)塵車間是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵車間極高的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn)。

       我國(guó)的無(wú)塵車間發(fā)展起步與國(guó)外相比較晚，近二十年來(lái)，隨著越來(lái)越多外企在國(guó)內(nèi)開(kāi)辦或合資開(kāi)辦企業(yè)，一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵車間的質(zhì)量。

       正確、合理的設(shè)計(jì)是保證無(wú)塵車間穩(wěn)定運(yùn)行的前提，在實(shí)際使用中，不正確的維護(hù)操作和不規(guī)范的管理都會(huì)使無(wú)塵車間的空氣潔凈度降低，造成無(wú)塵車間指標(biāo)達(dá)不到要求。因此，正確科學(xué)地進(jìn)行無(wú)塵車間維護(hù)和管理非常重要，并且這要從各方面來(lái)完善。

人員控制

        經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵車間的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵車間時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵車間前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

物品管理

       工作人員會(huì)帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會(huì)影響無(wú)塵車間的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時(shí)，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無(wú)塵車間內(nèi)穿著潔凈衣服，用無(wú)塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時(shí)也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過(guò)的不銹鋼板，防止破壞地板。

定期檢查

       對(duì)于無(wú)塵車間中的各種設(shè)備，在無(wú)塵進(jìn)入室內(nèi)后，也要時(shí)常清潔滅菌，并且定期進(jìn)行檢查，防止無(wú)塵車間內(nèi)塵粒和微生物的產(chǎn)生、繁衍和滯留。

系統(tǒng)構(gòu)建和維護(hù)

       除了防止微塵進(jìn)入，無(wú)塵車間也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來(lái)確保無(wú)塵車間內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過(guò)濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。

       如今的無(wú)塵車間，為滿足各類產(chǎn)業(yè)的需求，大多會(huì)選擇“量身定制”。要盡可能地建造一套完善的系統(tǒng)，防止后續(xù)出現(xiàn)問(wèn)題影響無(wú)塵車間的使用，且會(huì)浪費(fèi)時(shí)間和金錢。很多對(duì)這方面缺乏重要性認(rèn)識(shí)的企業(yè)，最后都后悔不已，然而為時(shí)已晚。